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中图分类法(3)
工业技术(3)
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CNKI学位论文
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1.
电流变抛光设备开发与关键技术研究
作者:
贺新升
关键词:
电流变抛光
;
非球面
;
集成电极工具
;
去除深度
;
粗糙度
论文级别:
博士
学位年度:2009
2.
电流变抛光液性能及其抛光技术研究
作者:
赵云伟
关键词:
电流变液
;
电流变抛光
;
流变性能
;
表面粗糙度
;
抛光压力
论文级别:
博士
学位年度:2012
3.
环形
集成电极工具
电流变抛光研究
作者:
张莹
关键词:
电流变抛光
;
集成电极工具
;
表面粗糙度
;
连续抛光
论文级别:
硕士
学位年度:2011
1
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