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中图分类法(3)
工业技术(3)
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CNKI学位论文
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1.
PZT铁电存储器的研究
作者:
蔡道林
关键词:
铁电随机存储器
;
铁电薄膜
;
PZT
;
铁电场效应晶体管
;
MFMIS结构
;
MFPIS结构
;
存储窗口
论文级别:
博士
学位年度:2008
2.
基于PZT的高可靠铁电存储器关键技术研究
作者:
翟亚红
关键词:
铁电存储器
;
PZT铁电薄膜
;
集成铁电电容工艺
;
铁电场效应晶体管
;
辐射效应
论文级别:
博士
学位年度:2013
3.
用于嵌入式铁电存储器的
集成铁电电容
研究
作者:
王龙海
关键词:
铁电薄膜
;
铁电畴
;
集成铁电电容
;
RIE无损刻蚀
;
铁电电容模型
;
铁电存储器
论文级别:
博士
学位年度:2006
1
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