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1.
基于CGH高精度非球面检测技术研究
作者:
冯婕
关键词:
计算全息
;
非球面检测
;
基底误差
;
条纹位置误差
;
双重位相全息图
论文级别:
博士
学位年度:2014
2.
离轴非球面的组合全息检验
作者:
李世杰
关键词:
光学测量
;
零位补偿检测
;
离轴非球面
;
计算全息图
;
B-spline
论文级别:
博士
学位年度:2014
3.
投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究
作者:
谷勇强
关键词:
投影光刻物镜
;
Fizeau干涉仪
;
绝对检测
;
计算全息
;
离子束面形精修
;
非球面加工
论文级别:
博士
学位年度:2013
4.
离轴反射光学系统计算机辅助装调技术研究
作者:
庞志海
关键词:
计算机辅助装调技术
;
矢量波像差理论
;
反射光学系统
;
离轴反射光学系统
;
失调量
论文级别:
博士
学位年度:2013
5.
大口径光学平面镜面形检测技术研究
作者:
朱硕
关键词:
光学检测
;
波像差
;
大口径
;
平面镜
;
瑞奇-康芒
;
Zernike多项式
;
五棱镜
;
子孔径
论文级别:
博士
学位年度:2014
6.
大屏幕超薄投影显示技术的研究
作者:
吕伟振
关键词:
投影显示
;
大屏幕
;
超薄化
;
DLP
;
光学系统设计
;
非球面
;
照度均匀性
论文级别:
博士
学位年度:2014
7.
超声波磁流变复合抛光关键技术研究
作者:
王慧军
关键词:
光学加工
;
超精密加工
;
抛光
;
磁流变抛光
;
超声波
论文级别:
博士
学位年度:2007
8.
基于焦面图像信息的波前探测技术研究
作者:
马鑫雪
关键词:
相位恢复
;
相位差异
;
波前探测器
;
泽尼克
;
像差
论文级别:
博士
学位年度:2014
9.
光学表面频段误差对成像质量的影响研究
作者:
曾雪锋
关键词:
光学制造
;
光学检测
;
高分辨率成像
;
频段误差
;
图像质量
;
统计光学
;
表面散射
;
点扩散函数
;
光学传递函数
论文级别:
博士
学位年度:2014
10.
相移点衍射干涉仪深亚纳米精度参考波前研究
作者:
卢增雄
关键词:
极紫外光刻
;
点衍射干涉仪
;
矢量瑞利-索末菲衍射积分公式
;
时域有限差分法
;
微孔衍射
;
微孔圆度
;
衍射参考波前质量
;
杨氏双孔干涉实验
论文级别:
博士
学位年度:2013
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