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CNKI学位论文
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1.
软X射线透射光栅制作
作者：
邱克强
关键词：
全息光刻
;
离子束刻蚀
;
电镀
;
减反膜
;
自支撑金透射光栅
论文级别：
博士
学位年度：2008
2.
13.9nm光栅分束器及相关问题研究
作者：
谭鑫
关键词：
等离子体诊断
;
X射线分束
;
双频光栅
;
衍射效率
;
Laminar光栅
论文级别：
博士
学位年度：2008
3.
衍射光栅色散理论与光栅设计、制作和检验方法研究
作者：
巴音贺希格
关键词：
衍射光栅
;
色散理论
;
光栅设计
;
光栅制作
;
光栅光谱仪
;
光学头光栅
;
刻划光栅
;
全息光栅
;
衍射效率检验设备
论文级别：
博士
学位年度：2004
4.
真空紫外同步辐射Seya-Namioka单色仪的多层膜光栅研制
作者：
贺胜男
关键词：
同步辐射
;
真空紫外
;
多层膜光栅
;
亚四分之一波长理论
;
高次谐波
;
衍射效率
论文级别：
博士
学位年度：2010
5.
宽波段平面光栅效率测试仪设计及测量误差补偿方法研究
作者：
曹海霞
关键词：
光栅效率
;
光学设计
;
测量方法
;
误差补偿
论文级别：
博士
学位年度：2014
6.
大口径衍射光学元件的离子束刻蚀及相关问题的研究
作者：
周小为
关键词：
束流密度均匀性
;
脉冲压缩光栅
;
衍射效率
;
刻蚀图形转移
;
等离子体灰化
论文级别：
博士
学位年度：2010
7.
SiC薄膜光栅制作及极紫外探测器光学元件热力学性能研究
作者：
宋曦
关键词：
碳化硅
;
等离子体增强
;
自支撑薄膜
;
透射光栅
;
X/EUV
;
有限元
;
热形变
论文级别：
硕士
学位年度：2010
8.
光束采样光栅采样效率均匀性和损伤阈值研究
作者：
饶欢乐
关键词：
光束采样光栅
;
采样效率均匀性
;
激光损伤阈值
;
化学机械抛光
;
清洗
论文级别：
博士
学位年度：2014
9.
全息光栅掩模图形转移理论模型及新工艺研究
作者：
吴娜
关键词：
全息光栅
;
离子束刻蚀
;
图形转移
;
理论模型
;
SiC基底
;
宽波段全息光栅
论文级别：
博士
学位年度：2013
1
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