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CNKI学位论文
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1.
用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究
作者：
李庄
关键词：
高场不对称波形离子迁移谱
;
微弱电荷检测
;
振簧式静电计
;
MEMS
;
谐振器
;
ASIC
论文级别：
博士
学位年度：2010
2.
激光—微笔/微喷直写集成制造MEMS微结构关键技术研究
作者：
曹宇
关键词：
微笔
;
微喷
;
激光微熔覆
;
直写
;
微机电系统
;
微结构
;
微制造
论文级别：
博士
学位年度：2009
3.
MEMS静电驱动
系统中非局部问题研究
作者：
江文娟
关键词：
微机电系统
;
静电驱动
;
吸合电压
论文级别：
硕士
学位年度：2008
4.
纳米级MEMS定位平台的驱动与控制方法研究
作者：
房增华
关键词：
纳米级定位平台
;
控制器
;
FPGA
;
积分分离式PID控制
论文级别：
硕士
学位年度：2011
5.
光通信MEMS光开关关键技术的研究
作者：
罗元
关键词：
光开关
;
MEMS
;
非硅微镜
;
TMAH湿法刻蚀
论文级别：
博士
学位年度：2003
6.
非平膜电容式微型超声波传感器研究
作者：
张慧
关键词：
电容式微型超声传感器
;
非平膜
;
力电耦合
;
声压
;
等效电路
;
声频定向
论文级别：
博士
学位年度：2010
7.
压电陶瓷驱动器特性研究及二维微纳定位平台结构设计
作者：
朱珠
关键词：
压电陶瓷驱动器
;
迟滞非线性
;
Preisach模型
;
建模
;
二维微纳定位平台
;
结构设计
;
柔性铰链
;
电容传感器
;
微纳制造
论文级别：
硕士
学位年度：2011
8.
基于激光/微笔直写的静电驱动可变电容制备技术研究
作者：
胡昆仑
关键词：
可变电容
;
静电驱动
;
激光微熔覆
;
微笔直写
;
微机电系统
论文级别：
硕士
学位年度：2009
9.
基于静电驱动的F-P腔可调谐光滤波器的设计
作者：
赵飞
关键词：
DBR
;
硅波导F-P谐振腔
;
MEMS静电驱动
;
ANSYS
论文级别：
硕士
学位年度：2010
10.
MEMS静电驱动
结构运动特性控制方法
作者：
于尚民
关键词：
MEMS静电驱动
;
平行板结构
;
二阶系统
;
状态空间分析法
;
状态反馈
论文级别：
硕士
学位年度：2007
1
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