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CNKI学位论文
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1.
基于PZT厚膜的MEMS微变形镜
作者：
许晓慧
关键词：
变形镜
;
PZT压电厚膜
;
致动器
;
传感器
;
MEMS
论文级别：
博士
学位年度：2008
2.
用于MEMS的
PZT压电厚膜
及硅基压电悬臂梁的制备研究
作者：
刘红梅
关键词：
MEMS
;
溶胶-凝胶
;
PZT压电厚膜
;
悬臂梁
论文级别：
博士
学位年度：2009
3.
锆钛酸铅（PZT）陶瓷材料相关技术与应用研究
作者：
刘爽
关键词：
PZT陶瓷
;
ITO
;
飞秒激光
;
图形化
;
微泵
;
驱动器
论文级别：
博士
学位年度：2009
4.
基于压电厚膜的MEMS振动能量采集器研究
作者：
唐刚
关键词：
微机电系统（MEMS）
;
能量采集器
;
压电厚膜
;
微能源
;
振动
论文级别：
博士
学位年度：2013
5.
溶胶电泳沉积法制备PZT膜材料技术及性能研究
作者：
魏长松
关键词：
PZT膜
;
溶胶电泳沉积法
;
介电性能
;
铁电性能
论文级别：
硕士
学位年度：2006
6.
铌酸盐基无铅压电陶瓷的制备及其掺杂改性研究
作者：
张雷
关键词：
无铅压电陶瓷
;
掺杂改性
;
压电性能
;
介电性能
论文级别：
硕士
学位年度：2008
7.
高频医学超声成像系统的研究与设计
作者：
孙平
关键词：
高频超声传感器
;
高频医学超声成像系统
;
超声波波束形成技术
;
大规模并行数字信号处理器阵列
;
现场可编程门阵列
论文级别：
博士
学位年度：2009
8.
泡沫镍基整体式费托合成催化剂的制备
作者：
张玉玲
关键词：
泡沫镍
;
Al_2O_3涂层
;
填充式载体
;
整体式催化剂
;
费托合成
论文级别：
硕士
学位年度：2012
9.
基于CMOS-MEMS技术的带电路输出的PZT电能收集器
作者：
尚瑛琦
关键词：
MEMS
;
压电效应
;
溶胶-凝胶
;
PZT压电材料
;
能量收集
论文级别：
硕士
学位年度：2012
10.
SU-8金属应变式微力传感器的设计与制作
作者：
陈兆鹏
关键词：
微力传感器
;
金属压阻
;
SU-8胶
;
悬臂梁
论文级别：
硕士
学位年度：2012
1
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3
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