CNKI学位论文(10)
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1.
基于降阶宏模型的MEMS系统级仿真平台研究
作者：
齐东周
关键词：
机械制造
;
微机电系统
;
集成制造
;
计算机仿真
授予学位：硕士
学位授予单位：大连理工大学
学位年度：2008
2.
MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究
作者：
徐景辉
关键词：
计算机辅助设计
;
工艺集成化设计
;
工艺模拟
;
元胞自动机
;
电化学腐蚀模型
授予学位：硕士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2006
3.
微型泵优化设计方法及原型系统研究
作者：
李红光
关键词：
微型泵
;
数值模拟
;
非线性回归
;
优化设计
授予学位：硕士
学位授予单位：西安科技大学
学位年度：2006
4.
基于XML的MEMS材料数据库设计与实现
作者：
朱晓华
关键词：
微机电系统
;
材料数据库
;
半结构化数据
;
XML数据库
;
工具命令语言
授予学位：硕士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2005
5.
基于实体模型的表面微加工MEMS器件设计与评价研究
作者：
李建华
关键词：
MEMS
;
计算机辅助设计
;
实体模型
;
工艺特征
;
掩模综合
;
掩模验证
;
表面微加工工艺
;
器件设计
授予学位：博士
学位授予单位：浙江大学
学位年度：2005
6.
微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化
作者：
李伟剑
关键词：
微机电系统
;
微机械陀螺
;
静电致动微梁
;
多域耦合
;
宏建模
;
多学科设计优化
;
遗传算法
授予学位：博士
学位授予单位：西北工业大学
学位年度：2004-04-01
1
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