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万方学位论文(4)
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1.精密六自由度运动机构动态性能优化研究
作者：蔡帅
授予学位：硕士
学位授予单位：哈尔滨工业大学
学位年度：2016
2.基于气压驱动的宏/微二维进给位移台的关键技术研究
作者：王康
授予学位：硕士
学位授予单位：江苏科技大学
学位年度：2016
3.宏微双级驱动精密定位系统建模与控制
作者：韩森
授予学位：硕士
学位授予单位：青岛理工大学
学位年度：2016
4.机刻光栅制造系统结构特性与精度控制研究
作者：金一
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2013
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