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条
1.
物理气相传输法生长1英寸AlN单晶及其表征分析
作者:
贺广东
;
王琦琨
;
雷丹
;
龚建超
;
黄嘉丽
;
付丹扬
;
吴亮
关键词:
氮化铝
;
物理气相传输
;
同质外延
;
紫外透光率
刊名:人工晶体学报
年:2019
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