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1.
GaSb半导体材料表面的
化学蚀刻
研究进展
作者:
张哲
;
赵江赫
;
张铭
;
熊青昀
;
熊金平
关键词:
GaSb半导体材料
;
化学蚀刻
;
湿法蚀刻
;
蚀刻体系
;
蚀刻速率
;
蚀刻成分作用
刊名:表面技术
年:2019
1
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