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温度对压痕法测试砷化镓显微硬度及裂纹形成和扩展的影响
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  • 出版年:2010
  • 作者:沈兆侠;陈荣发;戴良刚;朱瑞;张显亮
  • 单位1:扬州大学机械工程学院
  • 出生年:1983
  • 学历:硕士研究生
  • 语种:中文
  • 作者关键词:砷化镓单晶;压痕法;温度变化;显微硬度
  • 起始页:892
  • 总页数:5
  • 经费资助:国家自然科学基金(50605032);江苏省精密与微细制造技术重点实验室开放基金(NoJSPM200705)资助项目。
  • 刊名:硅酸盐学报
  • 是否内版:否
  • 刊频:月刊
  • 创刊时间:1957
  • 主管单位:中国科学技术学会
  • 主办单位:中国硅酸盐学会
  • 主编:黄勇
  • 地址:北京海淀区三里河路11号
  • 邮编:100831
  • 电子信箱:jccsoc@vip.163.com
  • 网址:http://www.jccsoc.com;http://www.ceramsoc.com;http://gsyxb.periodicals.net.cn;http://gxyb.chinajournal.net.cn
  • 卷:38
  • 期:5
  • 期刊索取号:P872.066 591
  • 数据库收录:Ei核心期刊;CA,SA,РЖ收录期刊
  • 核心期刊:Ei核心期刊
摘要
在常温和低温下对砷化镓单晶进行压痕实验,分析温度对砷化镓单晶片显微硬度及其裂纹产生和扩展的影响。结果表明:当试验载荷处在低于0.244N的小载荷区时,砷化镓单晶片的显微硬度随着载荷的增加而增大;当载荷处在大于0.244N的高载荷区时,砷化镓单晶片的显微硬度则随载荷的增加而减小。同一载荷下,随着温度的升高,压痕过程中所产生的裂纹长度逐渐增长。在不同温度下,随着载荷的增加,砷化镓单晶片经历了从塑性变形到脆性断裂的转变。减小载荷和降低加工区温度,有利于减少或防止裂纹的产生,使砷化镓的加工处于塑性模态,从而有利于提高加工精度。

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