太阳能多晶硅锭中夹杂的物相与分布特性

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• 出版年：2008
• 作者：邓太平；毛文行；尹传强；刘兵发；杜国平；周浪
• 单位1：南昌大学材料科学与工程学院/NCU-LDK太阳能研究中心
• 出生年：1972
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：太阳能；多晶硅；夹杂
• 起始页：449
• 总页数：4
• 刊名：材料科学与工程学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1983
• 主管单位：国家教育部
• 主办单位：浙江大学
• 主编：赵新兵
• 地址：杭州浙江大学材料系
• 邮编：310027
• 电子信箱：jmse@ema.zju.edu.cn
• 卷：26
• 期：3
• 期刊索取号：P822.06 448
• 数据库收录：美国CA源期刊；全国中文核心期刊；中文科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库来源期刊；美国CSA收录期刊
• 核心期刊：全国中文核心期刊

摘要

多晶硅锭中经常出现硬质夹杂颗粒，严重影响线切割硅片的表面质量，严重时造成硅片切割生产中断线。我们采用光学显微镜、扫描电镜一特征X射线能谱仪、X射线衍射仪等手段对定向凝固多晶硅锭中的夹杂进行了分析。采用溶解硅基体后沉淀萃取的方法取得硅锭不同部位的夹杂。分析结果表明，硅锭中夹杂的物相主要有两种：β-SiC和β-Si₃N₄，SiC的数量较多；二者形貌有显著区别：前者呈不规则块状，而后者则呈平直杆状。硅锭的顶表面附近夹杂高度富集，但内部仍偶有大于100微米的较大的碳化硅夹杂颗粒出现。