硅晶体切断专用金刚石环形带锯条的制造工艺研究

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• 作者：占志斌王春芳翟焕春
• 会议时间：2009-10-15
• 关键词：硅晶体 ; 金刚石 ; 环形带锯条 ; 制造工艺
• 作者单位：三河市金贝金刚石应用技术开发有限公司 065201
• 母体文献：2009中国超硬材料行业技术发展论坛论文集
• 会议名称：2009中国超硬材料行业技术发展论坛
• 会议地点：郑州
• 主办单位：中国机床工具工业协会
• 语种：chi

摘要

本文对单晶硅棒/多晶硅锭切断专用的金刚石环形带锯条制造的技术、工艺、测试及环保方面进行了介绍。采用电沉积方法制造金刚石带锯条,选用韧性好、强度高的钢材为基体材料,结合优质金刚石,对基体几何尺寸、偏摆、跳动严格控制,对金刚石进行表面处理,粒度重整,在工艺过程中,采用了独家设计的旋转装置,同时引入了最先进的安时参数(Ah)测控,制造出的带锯条性能稳定、寿命长、精确度高。在后续处理上,设计采用了零排放工艺流程,并采用膜分离技术对意外产生的废水进行处理。对于低浓度的废气,采用全封密排风通道,结合SDC复合吸附剂,净化效率可达到98%,确保达到国家环保要求。