MEMS神经元微探针研究

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• 作者：程正喜黄维宁周嘉黄宜平鲍敏杭
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：神经元 ; 微探针 ; 交流阻抗 ; 单元常数 ; 阻抗分析仪
• 作者单位：复旦大学,微电子系,专用集成电路与系统国家重点实验室,上海,200433
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

本文制作了一种神经元多电极微探针,采用阻抗分析仪对微探针进行了表征,测量了该探针单个电极在生理盐水中100~1 kHz范围内的交流阻抗.1 kHz工作频率下,探针的交流电阻和交流容抗分别为100 kΩ和10 kΩ,时漂小于1%.作为微探针的初步应用,测量了两个电极之间在不同浓度的NaCl溶液中的交流阻抗.结果表明该探针基本符合神经元探针的要求,为下一步进行生物实验奠定基础.