大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究
- 作者：李博徐晨赵慧赵林林霍文晓宋义超沈光地
- 会议时间：2006-09-21
- 关键词：大宽厚比 ; 悬空薄膜 ; 杨氏模量 ; 纳米硬度计
- 作者单位：北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京市光电子技术实验室,北京,100022
- 母体文献：传感技术学报
- 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
- 会议地点：南京
- 主办单位：中国微米/纳米技术学会
- 语种：chi
摘要
本文研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9 000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计测量了薄膜的杨氏模量.比较了两种方法的优劣.