大长-径比扫描探针在微结构形貌测量中的应用研究

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：伏明明郭科科陈烨杨运海居冰峰
• 会议时间：2008-10-24
• 关键词：大长径比扫描探针 ; 超精密测量 ; 微结构 ; 表面形貌仪 ; 精密测量试验
• 作者单位：浙江大学流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027
• 母体文献：第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会论文集
• 会议名称：第六届中日超精密加工技术双边国际学术交流会
• 会议地点：长沙
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

研究基于自行研制的纯钨材质的大长径比扫描探针,并将其应用于某型号的表面形貌仪,对微流道和复杂微结构的表面形貌进行了精密测量试验,并与利用单晶金刚石探针的测量结果进行对照。研究结果验证了新研制的大长一径比钨探针形貌测量的功能,尤其在高深一宽比复杂表面形貌超精密测量方面的能力。