用于MEMS传感器批量制造的微装配系统

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• 作者：荣伟彬谢晖孙立宁
• 会议时间：2006-09-21
• 关键词：MEMS传感器 ; 批量制造 ; 柔性装配系统 ; 微装配系统 ; 传感器
• 作者单位：哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨,150001
• 母体文献：传感技术学报
• 会议名称：第八届中国微米/纳米技术学术年会
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国微米/纳米技术学会
• 语种：chi

摘要

手工操作限制了MEMS传感器的批量生产.为了降低生产成本,同时提高传感器的产品质量,本文研制了柔性自动阳极键合系统.该系统包括一系列功能模块,包括精密定位系统、显微视觉子系统、柔性微操作手、加热系统、键合夹具、物流系统以及其它的附属系统.通过模块重构和调整,可实现不同尺寸规格传感器的键合.基于显微视觉以及微装配系统的特性,提出了基于小波变换的自动调焦清晰度评价函数,同时提出了基于改进史密斯预估器的用于克服视觉延迟的伺服控制结构.集成一维微力传感器的微操作手可实现高精度和无损操作.为了实现自动化操作,开发了包括任务规划和实时控制功能的控制系统.试验验证了该系统的自动键合功能.