类金刚石薄膜在油和水润滑下与氮化硅和316L钢材料的摩擦性能研究

详细信息    查看全文 | 下载全文 | 推荐本文 |

• 作者：白越
• 会议时间：2012-09-13
• 关键词：类金刚石薄膜 ; 氮化硅 ; 钢材料 ; 摩擦性能 ; 合成油 ; 蒸馏水
• 作者单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
• 母体文献：第四届高能束加工技术国际学术会议论文集
• 会议名称：第四届高能束加工技术国际学术会议
• 会议地点：青岛
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi
• 分类号：TG1;TU4

摘要

采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在316L钢衬底上沉积类金刚石薄膜,比较类金刚石薄膜在油和水润滑下分别与氮化硅和316L钢材料对磨的摩擦和磨损性能.实验结果显示:类金刚石/氮化硅摩擦对偶在合成油的润滑下具有最低的摩擦系数和磨损率;在空气中的摩擦系数和磨损量相比,类金刚石/氮化硅摩擦对偶添加合成油减小了45.8%的摩擦系数和94.4的磨损量.添加蒸馏水可以有效减小类金刚石薄膜的摩擦系数和磨损量,与空气中的摩擦系数相比,类金刚石/氮化硅摩擦对偶和类金刚石/316L钢摩擦对偶在蒸馏水润滑下的摩擦系数分别减小了44.8%和51.3%.在对磨损要求较为宽松的应用场合,蒸馏水可以为类金刚石/氮化硅摩擦对偶和类金刚石/316L钢摩擦对偶提供足够的润滑.