PECVD聚合胺基功能薄膜的研究

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• 作者：胡文娟谢芬艳陈强蔡惠平
• 会议时间：2008-04-01
• 关键词：丙烯胺 ; 薄膜 ; 电容耦合射频 ; 等离子体源 ; 红外光谱
• 作者单位：北京印刷学院印刷包装材料与技术北京市重点实验室,北京,大兴,102600
• 母体文献：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集
• 会议名称：第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
• 会议地点：武汉
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi

摘要

本文采用平板式电容耦合射频(RF,13.56MHz)等离子体源,以丙烯胺(allylamine)为聚合单体,氩气为辅助气体,沉积合胺基的功能薄膜。实验研究了等离子体放电功率对聚合物表面结构、稳定性和功能团含量等的影响。利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和视频光学接触角测量仪(DSA100),对同一条件下聚合胺基薄膜的结构、成分进行了细致的分析。结论是:等离子体PEGVD方法能有效的聚合富含胺基的薄膜,且胺基的含量随功率增加而增大,一定范围内,功率越大,薄膜的化学结构与单体更相近,功能团密度越多,而且制备的薄膜的稳定性较好。