纳米电解加工用碳纳米管工具电极制备关键技术
- 作者：曾永彬孟岭超曲宁松朱荻
- 会议时间：2013-10-25
- 关键词：纳米电解加工 ; 碳纳米管工具电极 ; 制备工艺 ; 科技创新
- 作者单位：南京航空航天大学机电学院/江苏省精密与微细制造技术重点实验室,江苏南京 210016
- 母体文献：第15届全国特种加工学术会议论文集
- 会议名称：第15届全国特种加工学术会议
- 会议地点：南京
- 主办单位：中国机械工程学会
- 语种：chi
- 分类号：TL5;TH1
摘要
性能优良的纳米工具电极是进行纳米电解加工的必备条件,其特征尺寸直接影响纳米结构的最终尺寸。通过对电弧放电法和电阻接触法两种制备纳米电极的新方法的介绍,着重研究了电弧放电法制备碳纳米管工具电极时,不同钨针的有效放电电压控制和电极性能优化这两项关键技术。试验结果发现,钨针的针尖圆弧半径越小,有效放电电压越小,电场分布越集中,越容易将碳纳米管焊接在针尖的顶端,焊接质量越好.在针尖圆弧半径约为100 nm和300 nm的钨针上,放电电压分别为25V和35V时,成功制备出碳纳米管工具电极;经过Au离子溅射处理后,碳纳米管工具电极的电阻降低了约30%,导电性能显著提升。