静电驱动微梁的节点分析法
摘要
本文采用加权残余法建立了静电驱动梁单元的节点法模型,在HSPICE中构建了相应的等效电路模型.以静电驱动的双端固支梁为例用ANSYS模拟软件对模型进行了验证,结果表明模型具有较高的精度.
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