生物芯片微流道的微细加工工艺

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• 作者：江树镇郭钟宁郑文书黄红光
• 会议时间：2013-10-25
• 关键词：生物芯片 ; 高分子基底材料 ; 微流道微细加工 ; 科技创新
• 作者单位：广东工业大学机电工程学院,广东广州 510006
• 母体文献：第15届全国特种加工学术会议论文集
• 会议名称：第15届全国特种加工学术会议
• 会议地点：南京
• 主办单位：中国机械工程学会
• 语种：chi
• 分类号：R31;X78

摘要

在生物芯片发展初期,其基底材料主要是玻璃,这主要是由于其加工方法是从半导体工业转移而来以及玻璃材料的表面特性。然而随着大批量和低成本的需求,基底材料转向聚合物材料,而其加工方法相应发生转变。通过对比,介绍了生物芯片微流道微细加工中几种不同方法的原理及特点。