金刚石研磨抛光液显著提升研磨和抛光质量

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• 作者：Kan-Yin NgTimothy Dumm
• 会议时间：2014-10-01
• 关键词：复合半导体材料 ; 表面处理 ; 金刚石研磨抛光液 ; 研磨质量 ; 抛光质量
• 作者单位：山特维克合锐
• 母体文献：第十八届中国超硬材料技术发展论坛论文集
• 会议名称：第十八届中国超硬材料技术发展论坛
• 会议地点：太原
• 主办单位：中国机床工具工业协会超硬材料分会
• 语种：chi
• 分类号：TG5;TB4

摘要

山特维克合锐研发了一种新型HYPERIONTM金刚石微粉并采用此种微粉配制金刚石研磨抛光液,目的是改善先进复合半导体材料(例如蓝宝石和碳化硅)的精磨和抛光质量.测试表明这种新型金刚石微粉和金刚石研磨抛光液能够显著提高精磨和抛光效率,从而降低生产成本,提高生产效率.