微机电系统技术及其应用

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	作者：何璇 关键词：微机电系统 ; 微型传感器 ; 微加工技术 中文刊名：JJKJ 英文刊名：Technology and Economic Guide 机构：南京理工大学; 出版日期：2019-05-25 出版单位：科技经济导刊 年：2019 期：v.27;No.677 语种：中文; 页：JJKJ201915069 页数：1 CN：15 ISSN：37-1508/N 分类号：104

摘要

微机电系统是在微电子技术与微机械技术的基础上产生的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21世纪的高新科技产物。介绍了微机电系统的基本原理及基本组成,综述了微机电系统技术基础所涉及的生物医学、航天卫星领域以及信息通信等领域,并对国内微机电系统的发展现状及前景进行全面分析。在此基础上论述了MEMS技术目前存在的问题和未来发展的趋势。
        

引文

[1]张冬至,胡国清.微机电系统关键技术及其研究进展[J].压电与声光,2010, 32(3):513-520.
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