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电子工业洁净室的洁净度关键影响因素及解决方案探讨
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  • 英文篇名:Discussion on Key Influencing Factors and Solutions for the Cleanliness of Clean Rooms in the Electronics Industry
  • 作者:章忠飞 ; 翟传明 ; 李晨 ; 苏乃硕 ; 田炳欢 ; 闻义 ; 谷悦
  • 英文作者:ZHANG Zhong-fei;ZHAI Chuan-ming;LI Chen;SU Nai-shuo;TIAN Bing-huan;WEN Yi;GU Yue;BOE Technology Group Co.,Ltd.;C+E Center for Engineering Research Test and Appraisal Co.,Ltd.;
  • 关键词:电子洁净 ; 洁净 ; 影响因素 ; 解决方案
  • 英文关键词:electronics clean rooms;;cleanliness;;influencing factors;;solutions
  • 中文刊名:GCYZ
  • 英文刊名:Intelligent Building & Smart City
  • 机构:京东方科技集团股份有限公司;中电投工程研究检测评定中心有限公司;
  • 出版日期:2019-02-25
  • 出版单位:智能建筑与智慧城市
  • 年:2019
  • 期:No.267
  • 语种:中文;
  • 页:GCYZ201902020
  • 页数:3
  • CN:02
  • ISSN:10-1392/TU
  • 分类号:42-44
摘要
电子厂房洁净室作为一个庞大而复杂的系统,会导致其洁净度不合格的因素很多。为了保持洁净洁净度水平,应定期进行洁净检测,并通过人员、设备和物品等制度建设管理,保障电子工业洁净室稳定生产。
        As a huge and complicated system, the clean room of electronic factory building has many factors leading to unqualified cleanliness. In order to maintain the cleanliness level of the clean room, clean inspection should be carried out regularly, and the construction and management of personnel, equipment and articles should be carried out to ensure the stable production of the clean room in the electronics industry.
引文
[1]范存养,徐文华.国外空气洁净技术发展的若干现状[J].洁净与空调技术, 2003(1):8-18.
    [2]范存养,徐文华,林忠平.微电子工业空气洁净技术的若干进展[J].暖通空调,2001,31(5):30-38.
    [3]付纪科,柳涛.洁净室的施工质量控制[J].轻工技术,2018,34(9):105-106.
    [4]张雨晨,苏建程,闵男.洁净厂房洁净度的影响因素及洁净度不合格原因的排查方法[J]医疗装备,2014(3):78-79.

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