干涉仪测量中频波面误差的技术问题讨论
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- 论文作者：张雪洁 ; 沈卫星 ; 杨相会 ; 马晓君
- 年：2016
- 作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所;
- 会议召开时间：2016-09-25
- 会议录名称：第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 语种：中文
- 分类号：TH744.3
- 学会代码：GNCS
- 会议名称：第十六届全国光学测试学术交流会
- 会议地点：中国上海
- 主办单位：中国光学学会光学测试专业委员会
- 学会名称：中国光学学会光学测试专业委员会
- 页数：1
- 文件大小：10110k
- 原文格式：D
- 会议级别：全国
摘要
<正>针对高功率激光驱动装置中的大口径光学元件,空间周期位于0.12~33mm的中频波面误差是光束非线性小尺度自聚焦的主要诱因,严重威胁激光系统的安全运行。基于傅里叶分析的功率谱密度(PSD)函数被用于中频波面误差的评估。然而,在利用干涉仪检测光学元件反射/透射波面时,干涉仪固有的低通滤波特性会造成波面中高频信息的丢失。如何有效地提取中频波纹信息,获得光学元件相对真实的波面误差PSD分布,是本报告的主要内容。
引文