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金属铈电子束真空蒸发理论及实验研究
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摘要
对金属铈蒸发热力学、动力学理论进行了研究,尤其针对金属铈在不同温度等条件下的饱和蒸气压、蒸发速率、蒸发量变化情况进行了理论计算。明确了蒸发能效的关键影响因素为自由蒸发面温度及高温蒸发面积,并阐明了其影响规律。并根据蒸发量实际需求,理论预估了合理的蒸发温度范围。在此基础上,开展了实验研究。测定了电子束扫描控制参数,实现了电子束扫描形状的精确控制。采用电子束加热,在不同加热功率、不同扫描形状下对金属铈进行了蒸发实验研究,测定了其熔池温度变化情况,同时测定了金属铈的蒸发量及蒸发能效变化情况,并确定了较优的电子束加热蒸发参数。研究结果表明电子束加热用于蒸发金属铈是可行的,当电子枪功率约20~25 kW,电子束扫描方式为2~3 cm直线较为合适,蒸发量符合要求且蒸发能效高。
The evaporation kinetics and thermodynamics of metal cerium to being researched,especially,its saturation vapor pressure,evaporate rate,and evaporation mass is being computed.And then the feasible evaporation temperature range is being ascertained.Also experiments research is carry out with electron beam heating,under conditions of accurate control beam sweep,different power and different sweep form,determine the change range of evaporation mass and energy consumption.The results indicate that metal cerium can be evaporated using electron beam heating.
引文
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