硬质合金上直流反应磁控溅射沉积纳米W基氮化物涂层初探

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• 论文作者：邓阳 ; 黎毓灵 ; 唐相国 ; 张子威 ; 周克崧 ; 匡同春
• 年：2016
• 作者机构：华南理工大学材料科学与工程学院;
• 论文关键词：直流反应磁控溅射 ; 硬质合金 ; W基氮化物涂层 ; 力学性能 ; 耐腐蚀性能
• 会议召开时间：2016-12-02
• 会议录名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会论文集
• 语种：中文
• 分类号：TG174.4
• 学会代码：ZKXH
• 会议名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会
• 会议地点：中国广东广州
• 主办单位：广东省振兴科技基金会、广东省真空学会
• 学会名称：广东省真空学会
• 页数：9
• 文件大小：4185k
• 原文格式：O
• 会议级别：地方

摘要

采用直流反应磁控溅射(DCMS)技术在YG10X细晶硬质合金表面沉积纳米W基氮化物涂层,借助扫描电镜、X射线衍射仪、纳米压痕仪、摩擦磨损试验机、电化学工作站等检测手段分别对涂层和基体的形貌、组织与性能进行了表征分析。结果表明,纳米W基氮化物涂层表面呈"菜花状",亲水性较好,主要物相为W2N,晶粒平均尺寸15-20nm,表现为较强的(200)晶面择优取向,厚度约3.6μm,组织为纤细短柱状晶和无特征形态的结合;氩离子对基体表面产生了显著的刻蚀作用,涂层与基体结合良好,Lc载荷为96N时,薄膜才开始出现裂纹,涂层硬度为3368HV_(0.025),抗塑性变形能力较好;纳米W基氮化物涂层的摩擦系数为0.38,磨损率为2.04×10~(-16)m~3/N·m。耐蚀性测试结果表明,YG10X基体沉积纳米W基氮化物涂层后,腐蚀电位提高0.219V,腐蚀电流密度降低超过了一个数量级。

引文

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