DLC薄膜的制备和热稳定性
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- 论文作者：李迎春 ; 刘江江 ; 李国军
- 年：2016
- 作者机构：东莞市汇成真空科技有限公司;
- 会议召开时间：2016-12-02
- 会议录名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会论文集
- 语种：中文
- 分类号：O484
- 学会代码：ZKXH
- 会议名称：珠三角光电产业与真空科技创新论坛暨广东省真空学会2016年学术年会
- 会议地点：中国广东广州
- 主办单位：广东省振兴科技基金会、广东省真空学会
- 学会名称：广东省真空学会
- 页数：5
- 文件大小：1632k
- 原文格式：O
- 会议级别：地方
摘要
<正>1概述世界能源的1/2-1/3消耗于摩擦,机械零件80%失效原因是磨损;因此磨损是材料研究的重要命题;耐磨、减摩材料开发活跃,成为摩擦学研究的重点。摩擦学包括摩擦、磨损和润滑三部分。自从上世纪70年代DLC薄膜问世以来,经过几十年的发展和探索,逐渐形成了现在的物理沉积和化学气相沉积的DLC(类金刚石涂层)薄膜。PECVD(等离子体辅助化学气相沉积)镀层具有卓越的摩擦学性能。直接用镀层取代轴承或衬套
引文