甲烷浓度对CVD自支撑金刚石薄膜残余应力的影响

详细信息   全文下载|推荐本文 |

• 出版年：2009
• 作者：朱宏喜；毛卫民；吕反修；赵清坡；谢秋风
• 单位1：河南科技大学材料科学与工程学院
• 单位2：河南省有色金属材料科学与加工技术 重点实验室
• 出生年：1976
• 学历：Doctor
• 语种：中文
• 作者关键词：化学气相沉积；金刚石薄膜；织构；弹性模量；残余应力
• 起始页：122
• 总页数：6
• 经费资助：Project supported by the National Natural Science Foundation of China(No.50372007)；the Doctor Foundation of Henan University of Science and Technology(No.09001233)；SRTP of Henan University of Science and Technology(No.2008017)
• 刊名：人工晶体学报
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1972
• 主管单位：中国建筑材料联合会
• 主办单位：中材人工晶体研究院
• 主编：余明清
• 电子信箱：bjb@jtxb.cn；jtxbbjb@126.com
• 网址：www.jtxb.cn
• 卷：38
• 期：1
• 期刊索取号：P311.06105
• 核心期刊：《EI》核心期刊；中文核心期刊

摘要

根据唯像理论研究了化学气相沉积自支撑金刚石薄膜中织构和弹性性能之间的关系，揭示了晶体取向和织构对残余应变和残余应力的影响。织构使CVD金刚石薄膜杨氏模量和宏观残余应变呈现各向异性，而且两者呈现相反的分布规律。织构和杂质都能影响金刚石薄膜的弹性模量和残余应变，但是织构的影响是主要的。实验中测量的残余应变很好的符合了根据薄膜织构计算得到的弹性模量值。因此可以借助改变薄膜织构来调节薄膜的残余应力。