退火升温速率对VO₂薄膜相变性能的影响

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• 出版年：2010
• 作者：何鹏；颜家振；黄婉霞；张月；罗蓉蓉；蔡靖涵
• 单位1：四川大学
• 出生年：1985
• 学历：硕士生
• 语种：中文
• 作者关键词：升温速率；VO₂薄膜；热致相变；光学性能
• 起始页：867
• 总页数：4
• 刊名：稀有金属材料与工程
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国有色金属学会；中国教材研究学会；西北有色金属研究院
• 主编：殷为宏
• 地址：北京市东黄城根北街16号
• 邮编：100717
• 电子信箱：rmme@c-nin.com
• 网址：http://www.rmme.ac.cn
• 卷：39
• 期：5
• 期刊索取号：P822.06 141-1
• 数据库收录：国家重点学术期刊；国家精品科技期刊；首届国家期刊奖；中国优秀科技期刊一等奖；中国有色金属工业优秀科技期刊一等奖；中国期刊方阵双奖期刊；陕西首届“大报名刊工程”期刊；陕西省优秀科技期刊特等奖；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库文献源；中文核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊；中国学术期刊光盘版入网刊物；美国ISI数据库用刊（SCI Expanded®，Research Alert®，Materials Science Citation Index®）；美国工程索引（EI）文献源期刊；美
• 核心期刊：中国核心期刊；中国材料科学核心期刊；中国物理学核心期刊

摘要

采用溶胶-凝胶法在云母（001）衬底表面制备氧化钒薄膜，然后通过高温退火获得VO₂多晶膜。利用SEM、FTIR等手段，分析不同退火升温速率条件下所制备薄膜的微观形貌、光学性能和热致相变特性。结果表明：在退火升温速率为8℃/min时，所制备的VO₂薄膜具有最优异的热致相变特性，相变温度为65℃，滞后温宽为10℃。