厚度对ZnS薄膜结构和应力的影响

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• 出版年：2007
• 作者：马锦；马云芳；宋学萍；孙兆奇
• 单位1：安徽大学物理与材料科学学院
• 出生年：1982
• 学历：硕士生
• 语种：中文
• 作者关键词：ZnS薄膜；射频磁控溅射；膜厚；微结构
• 起始页：7
• 总页数：4
• 经费资助：国家自然科学基金资助项目（50642038）；教育部博士点专项基金资助项目（20060357003）；安徽省人才专项基金资助项目（2004Z029）；安徽省教育厅科研基金资助项目（2004kj030）及安徽大学人才队伍建设基金资助课题
• 刊名：合肥工业大学学报
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1956
• 主管单位：中华人民共和国教育部
• 主办单位：合肥工业大学
• 主编：杨伯源
• 地址：合肥市屯溪路193号
• 邮编：230009
• 电子信箱：hefe@chinajournal.net.cn；XBZK@hfut.edu.cn
• 卷：30
• 期：1
• 期刊索取号：P806.6 223
• 数据库收录：中国期刊方阵期刊；全国中文核心期刊；美国《化学文摘》(CA)；俄罗斯《文摘杂志》(AJ)；德国《数学文摘)》(ZBL MATH)；美国《剑桥科技文摘》(CSA)；中国科技论文统计分析数据库(CSTPCD)；中国科学引文数据库核心库(CSCD)；中国学术期刊综合评价数据库；《中国期刊方阵》；《中文核心期刊要目总览》；《中国期刊网》；《中国学术期刊（光盘版）》；《万方数据——数字化期刊群》；《中国核心期刊（遴选）数据库》
• 核心期刊：全国中文核心期刊；中国科学引文数据库核心库(CSCD)；《中文核心期刊要目总览》；《中国核心期刊（遴选）数据库》

摘要

用射频磁控溅射法在单晶Si基片上制备了4种不同厚度的ZnS膜，采用XRD和光学干涉相移法对薄膜的微结构和应力进行研究。结构分析表明，不同厚度的ZnS膜均呈多晶状态，并有明显的（220）晶面择优取向，晶体结构为立方晶型（闪锌矿）结构；随着薄膜厚度的增加，平均晶粒尺寸随之增大；薄膜的晶格常数在不同厚度下均比标准值稍大。应力分析表明，随着膜厚的增加，ZnS膜的应力差减小，在厚度为768nm时的选区范围内应力差最小，应力分布较均匀。