三维微型梳齿的静电结构耦合特性研究

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• 出版年：2006
• 作者：朱毅；郭丹
• 单位1：清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室
• 出生年：1981
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：微梳齿结构；静电结构耦合；有限元法
• 起始页：58
• 总页数：4
• 经费资助：国家重点基础研究发展计划“973”资助项目（2003CB716205）.
• 刊名：润滑与密封
• 是否内版：否
• 刊频：月刊
• 创刊时间：1976
• 主管单位：中国科学技术协会
• 主办单位：中国机械工程学会摩擦学分会；广州机械科学研究院
• 主编：贺石中
• 地址：广州市黄浦区茅岗路828号
• 邮编：510700
• 电子信箱：rhymf@gmeri.com；rfbjb@163.net；webmaster@gmeri.com
• 网址：http://rhymf.com.cn
• 期：7
• 期刊索取号：P830.6 141-4
• 数据库收录：中文核心期刊；中国科技论文统计刊源；Ei Compendex数据库核心期刊；CA收录期刊
• 核心期刊：中文核心期刊

摘要

为了解微机电系统中，静电结构耦合作用对微梳齿结构性能发挥的复杂作用，对三维微梳齿驱动器的静电结构耦合特性进行了研究，用有限元方法仿真和分析了耦合作用在3个方向上对梳齿结构静电力或位移的影响。结果显示出3个方向的耦合作用都随着电压增大而增大，不同方向耦合作用对静电力和位移的影响不同，其中x方向上的作用最为显著，考虑梳齿在不同情况下的耦合作用对梳齿结构的设计、驱动电压的选择等有指导意义。