多晶硅工厂设计规范

多晶硅工厂设计规范

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标准编号：GB 51034-2014
其他标准名称：Code for design of polysilicon plant
标准类型：国家标准
发布日期：2014-08-27
实施日期：2015-05-01
CCS：P73
ICS：77.010
起草单位：中国有色工程有限公司
归口单位：中国有色金属工业工程建设标准规范管理处
标准状态：有效
页数：124
发布年份：2014
引用标准：GB 50009;GB 50010;GB 50011;GB 50013;GB 50014;GB 50015;GB 50016;GB 50019;GB 50025;GB 50029;GB 50034;GB 50040;GB 50041;GB 50046;GB 50050;GB 50052;GB 50057;GB 50058;GB 50073;GB 50102;GB 50140;GB 50160;GB 50177;GB 50187;GB 50189;GB 50217;GB 50222;GB 50223;GB 50229;GB 50264;GB 50325;GB 50338;GB 50351;GB 50370;GB 50489;GB 50493;GB 50685;GB 50770;GB 4830;GB 5749;GB/T 8175;GB 8978;GB 11984;GB 12348;GB/T 12963;GB/T 14549;GB 16297;GB 18613;GB/T 18870;GB 19153;GB 19761;GB 19762;GB 20052;GB/T 25074;GB 29447;CJJ 34;HG/T 20507;HG/T 20508;HG/T 20509;HG/T 20510;HG/T 20513;HG/T 20514;HG/T 20573;HG/T 20673;JGJ 8;JGJ 118;SH 3005;SH/T 3006;SH/T 3020;SH/T 3027;SH 3047;SH/T 3081;SH/T 3082;SH/T 3092;SH/T 3126;SY/T 0317;SY/T 0524;GB 50112
适用范围：本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。

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