金刚石刀具质量检测装置控制系统的设计

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	英文篇名：Control System Design of Diamond Tool Measure Equipment 作者：雷艳华 ; 雷大江 ; 蓝河 英文作者：Lei Yanhua;Lei Dajiang;Lan He; 关键词：刀具质量 ; 原子力显微镜 ; 精密轴系 ; 控制系统 ; 金刚石刀具 英文关键词：tool quality;;AFM;;precision axis;;control system;;diamond tool 中文刊名：GJJS 英文刊名：Tool Engineering 机构：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所; 出版日期：2019-04-20 出版单位：工具技术 年：2019 期：v.53;No.548 语种：中文; 页：GJJS201904031 页数：3 CN：04 ISSN：51-1271/TH 分类号：123-125

摘要

设计了一套刀具质量检测控制系统,实现了系统内各轴系的精密运动控制。通过独特的设计思路,完成了原子力显微镜的Z向位移与旋转轴系统的坐标同步采集功能,最终构建了一套专用控制系统。经试验验证,该系统可以完成典型的金刚石刀具测量任务,具有良好的控制性能。
        A control system for diamond tool measurement is designed,and the system can control the precision movement of the axes.With the unique design method,synchronized data acquisition for the data of AFM′s axis Z and the data of rotary axis is fulfilled.By the experiment of measuring diamond cutting tools,the control ability of system is proved,and a special control system is constructed.

引文

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