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万方学位论文(3)
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1.光学检测平台的宏微驱动控制系统研究
作者：黄征
授予学位：硕士
学位授予单位：厦门大学
学位年度：2011
2.基于压电陶瓷的宏微双驱动精密回转系统的研究
作者：吴智峰
授予学位：硕士
学位授予单位：西安理工大学
学位年度：2011
3.提高载物台定位精度的研究
作者：华晓青
授予学位：硕士
学位授予单位：上海大学
学位年度：2005
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