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1.二维精密气浮运动平台多参数控制与轨迹精度研究
作者:朱小刚
授予学位:硕士
学位授予单位:广东工业大学
学位年度:2016
2.适用于长光栅刻制的二维超大行程气浮工作台结构设计
作者:莫德云
授予学位:硕士
学位授予单位:广东工业大学
学位年度:2013
3.高速精密直线驱动式静压气浮平台的运动特性研究
作者:李海鹏
授予学位:硕士
学位授予单位:广东工业大学
学位年度:2012
4.三坐标测量机运动控制系统设计与仿真
作者:陈洪波
授予学位:硕士
学位授予单位:西安理工大学
学位年度:2008
5.高速精密气浮定位平台设计方法
作者:杨庆国
授予学位:硕士
学位授予单位:天津大学
学位年度:2007
6.直线驱动式精密静压气浮平台的动静态特性分析与实验研究
作者:陈爱民
授予学位:硕士
学位授予单位:广东工业大学
学位年度:2010
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