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5.碳化硅的线锯切片技术与加工机理研究
作者：孟磊
关键词：线锯 ; 碳化硅 ; 去除机理
论文级别：硕士
学位年度：2011
10.金刚石线锯切割SiC的加工质量研究
作者：贺东溥
论文级别：硕士
学位年度：2010
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