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1.掺氮SiC薄膜制备及其光学特性的研究

作者：赵武

关键词：SiC薄膜 ; SiCN薄膜 ; HFCVD ; 光学特性

论文级别：博士

学位年度：2009

2.表面等离子体增强碳基薄膜发光性能

作者：李喆

关键词：非晶碳 ; 非晶碳化硅 ; PECVD ; 表面等离子体 ; 光致发光

论文级别：博士

学位年度：2012

3.氟化类金刚石薄膜附着性能的研究

作者：杨亦赏

关键词：磁控溅射 ; Si过渡层 ; 氟化类金刚石薄膜 ; 射频功率 ; 结合强度

论文级别：硕士

学位年度：2012

4.低碳氢化非晶碳化硅的研究

作者：甘武林

关键词：低碳氢化非晶碳化硅 ; 红外结构 ; 光学带隙 ; 光致发光 ; 表面形貌

论文级别：硕士

学位年度：2011

5.太阳电池窗口层碳化硅薄膜掺杂研究

作者：许宝玉

关键词：太阳电池 ; 碳化硅薄膜 ; 窗口层 ; 等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

论文级别：硕士

学位年度：2011

6.太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究

作者：张瑞丽

关键词：太阳能电池 ; 非晶碳化硅薄膜 ; PECVD ; 减反射 ; 钝化

论文级别：硕士

学位年度：2010

7.PECVD制备a-SiC:H薄膜及激光退火研究

作者：黄俊

关键词：PECVD ; a-SiC ; H薄膜 ; 激光退火

论文级别：硕士

学位年度：2009

8.掺杂SiC薄膜的制备及性能研究

作者：宋曙光

关键词：磁控溅射 ; SiC薄膜 ; 光致发光 ; 非晶薄膜 ; 光学带隙

论文级别：硕士

学位年度：2008

9.太阳电池窗口层碳化硅薄膜的研究

作者：司尚卓

关键词：太阳电池 ; 碳化硅薄膜 ; 窗口层 ; 等离子体化学气相沉积(PECVD)

论文级别：硕士

学位年度：2010

10.非晶碳及非晶碳化硅薄膜的制备及光学性能研究

作者：邱毅娇

关键词：氢化非晶碳薄膜 ; 氢化非晶碳化硅薄膜 ; RF-PECVD ; 微结构 ; 光学性能

论文级别：硕士

学位年度：2011

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