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1.基于显微光杠杆技术的微梁结构偏转角测量系统
作者：刘璐
授予学位：硕士
学位授予单位：天津大学
学位年度：2013
2.广义线弹性体刚柔耦合及尺度效应数值分析
作者：符志
授予学位：硕士
学位授予单位：重庆大学
学位年度：2013
3.环境参数对常规MEMS结构粘附失效的影响
作者：许李园
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2009
4.MEMS结构正面释放技术及其在风速计中的应用
作者：顾慧
授予学位：硕士
学位授予单位：东南大学
学位年度：2011
5.微电子机械系统力学性能及尺寸效应研究
作者：韩光平
授予学位：博士
学位授予单位：西安理工大学
学位年度：2006
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