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1.砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
标准编号：GB/T 8758-2006
标准类型：国家标准
发布单位：全国有色金属标准化技术委员会
发布日期：2006-07-18
实施日期：2006-11-01
2.煤矿用光干涉式甲烷气体传感器
标准编号：MT 1098-2009
标准类型：行业标准
发布日期：2009-12-11
实施日期：2010-07-01
3.振动与冲击传感器的校准方法 激光干涉法低频振动一次校准
标准编号：GB/T 13823.11-1995
标准类型：国家标准
关键词：振动 ; 传感器 ; 校正
发布单位：全国机械振动与冲击标准化技术委员会
发布日期：1995-04-02
实施日期：1996-02-01
4.硅外延层堆垛层错密度测定 干涉相衬显微镜法
标准编号：GB/T 14145-1993
标准类型：国家标准
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
5.光干涉式甲烷测定器
标准编号：MT 28-2005
标准类型：行业标准
发布日期：2005-02-14
实施日期：2005-06-01
6.金属材料超低膨胀系数测定方法 光干涉法
标准编号：GB/T 10562-1989
标准类型：国家标准
发布日期：1989-03-22
实施日期：1990-01-01
7.硅抛光片表面平整度测试方法
标准编号：GB/T 6621-1995
标准类型：国家标准
关键词：半导体材料硅 ; 平整度 ; 表面 ; 测量
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
8.光干涉式甲烷测定器校准仪通用技术条件
标准编号：MT 424-1995
标准类型：行业标准
发布日期：1995-10-05
实施日期：1995-12-01
9.干涉式甲烷测定器
标准编号：MT 28-1994
标准类型：行业标准
发布日期：1994-05-12
实施日期：1994-12-01
10.硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
标准编号：YS/T 23-1992
标准类型：行业标准
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
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