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1.硅抛光片表面平整度测试方法
标准编号：GB/T 6621-1995
标准类型：国家标准
关键词：半导体材料硅 ; 平整度 ; 表面 ; 测量
发布日期：1995-04-18
实施日期：1995-12-01
2.硅片局部平整度非接触式标准测试方法
标准编号：GB/T 19922-2005
标准类型：国家标准
关键词：半导体 ; 半导体材料 ; 测量硅 ; 试验
发布单位：全国有色金属标准化技术委员会
发布日期：2005-09-19
实施日期：2006-04-01
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