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1.Determination of film thickness and surface profile using reflectometry and spectrally resolved phase shifting interferometry

作者：Sanjit Kumar Debnath (1)
Joonho You (2)
Seung-Woo Kim (12) swk@kaist.ac.kr

关键词：Phase shifting interferometry ; Reflectometry ; Spectrally resolved white light interferometry ; Thin film

刊名：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

出版时间：December 2009

出版年：2009

2.Determination of film thickness and surface profile using reflectometry and spectrally resolved phase shifting interferometry

作者：Sanjit Kumar Debnath (1)
Joonho You (2)
Seung-Woo Kim (12) swk@kaist.ac.kr

关键词：Phase shifting interferometry ; Reflectometry ; Spectrally resolved white light interferometry ; Thin film

刊名：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

出版时间：December 2009

出版年：2009

3.Instantaneous phase-stepping interferometry using polarization imaging with a micro-retarder array

作者：S. Yoneyama (1) yoneyama@me.osakafu-u.ac.jp
H. Kikuta (1)
K. Moriwaki (2)

关键词：Key Words Instantaneous phase ; stepping interferometry ; Twyman ; Green interferometry ; out ; of ; plane displacement ; form ; birefringence ; micro ; retarder array ; polarization

刊名：Experimental Mechanics

出版时间：October 2005

出版年：2005

4.Instantaneous phase-stepping interferometry using polarization imaging with a micro-retarder array

作者：S. Yoneyama (1) yoneyama@me.osakafu-u.ac.jp
H. Kikuta (1)
K. Moriwaki (2)

关键词：Key Words Instantaneous phase ; stepping interferometry ; Twyman ; Green interferometry ; out ; of ; plane displacement ; form ; birefringence ; micro ; retarder array ; polarization

刊名：Experimental Mechanics

出版时间：October 2005

出版年：2005

5.Recent advancements of moir茅 and microscopic moir茅 interferometry for thermal deformation analyses of microelectronics devices

作者：B. Han (1)

关键词：Key Words Moir茅 interferometry ; microscopic moir茅 interferometry ; thermal deformation ; microelectronics device ; electronic packaging ; coefficient of thermal expansion

刊名：Experimental Mechanics

出版时间：December 1998

出版年：1998

6.Recent advancements of moir茅 and microscopic moir茅 interferometry for thermal deformation analyses of microelectronics devices

作者：B. Han (1)

关键词：Key Words Moir茅 interferometry ; microscopic moir茅 interferometry ; thermal deformation ; microelectronics device ; electronic packaging ; coefficient of thermal expansion

刊名：Experimental Mechanics

出版时间：December 1998

出版年：1998

7.Theoretical Study on the Interferometry of Thin EHL Film Measurement

作者：Z. Fu ; F. Guo and P. L. Wong

关键词：Elastohydrodynamic lubrication ; Multi ; beam interferometry ; Optical EHL interferometry ; FECO

刊名：Tribology Letters

出版时间：July, 2008

出版年：2008

8.Gouy Interferometry: Properties of Multicomponent System Omega (惟) Graphs

作者：Donald G. Miller

关键词：Diffusion ; Gouy interferometry ; Omega graphs ; Rayleigh interferometry ; Multicomponent systems

刊名：Journal of Solution Chemistry

出版时间：December, 2007

出版年：2007

9.Atom interferometry measurement of the electric polarizability of lithium

作者：A. Miffre ; M. Jacquey ; M. B眉chner ; G. Tr茅nec and J. Vigu茅

关键词：PACS. 32.10.Dk Electric and magnetic moments ; polarizability ; 03.75.Dg Atom and neutron interferometry ; 32.60.+i Zeeman and Stark effects ; 39.20.+q Atom interferometry techniques

刊名：The European Physical Journal D - Atomic ; Molecular and Optical Physics

出版时间：May 2006

出版年：2006

10.Performance Optimization of Phase-Shifting Interferometry Using Data Average on Wide Range Roughness Measurement

作者：Min-Sik Jo

关键词：phase ; shifting interferometry ; performance optimization ; surface roughness ; data average availability

刊名：Optical Review

出版时间：January 2004

出版年：2004

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