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1.基于电容边缘效应的叉指式微加速度计性能分析
作者：蓝洪芳
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2016
2.闭环叉指式电容微机械加速度计动态性能研究及优化
作者：曾建
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2016
3.硼掺杂工艺对微加速度计性能的影响
作者：李伦
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2016
4.封装粘接层空洞对微加速度计温漂的影响
作者：赖柳山
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2016
5.并联余弦梁支撑结构的稳定性分析
作者：陈余
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2015
6.硅的氧化层及电容边缘效应对微加速度计性能的影响
作者：杨辉
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2014
7.硼掺杂对加表表芯机械性能的影响研究
作者：沈华钦
授予学位：硕士
学位授予单位：电子科技大学
学位年度：2013
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