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万方学位论文(11)
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2.基于自适应控制的光栅刻划机长效主动与被动复合隔振方法研究
作者：黄鹏
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2016
3.温度及摩擦对光栅刻划机定位精度影响的研究
作者：周俊超
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2015
4.光栅刻划机系统辨识及温度影响研究
作者：汪静姝
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2013
5.大尺度衍射光栅刻划机定位平台的研究
作者：陈凯
授予学位：硕士
学位授予单位：合肥工业大学
学位年度：2013
6.光栅刻划机摩擦驱动机构动力分析
作者：李博
授予学位：硕士
学位授予单位：苏州大学
学位年度：2013
7.大面积高精度衍射光栅刻划机结构优化与控制研究
作者：申远
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2012
8.面向光栅制造的宏微超精密进给系统的设计与研究
作者：褚彪
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2014
9.宏观尺度的纳米级定位控制技术研究
作者：钟俊
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2011
10.机刻光栅制造系统结构特性与精度控制研究
作者：金一
授予学位：博士
学位授予单位：中国科学技术大学
学位年度：2013
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