金属钽丝表面的X射线光电子能谱分析

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• 出版年：2006
• 作者：李人哲
• 单位1：西北工业大学理学院应用化学系
• 出生年：1980
• 学历：硕士研究生
• 语种：中文
• 作者关键词：钽；XPS；原子浓度
• 起始页：564
• 总页数：3
• 刊名：稀有金属
• 是否内版：否
• 刊频：双月刊
• 创刊时间：1977
• 主管单位：中国有色金属工业协会
• 主办单位：北京有色金属研究总院
• 主编：屠海令
• 地址：北京新街口外大街2号
• 邮编：100088
• 电子信箱：xxsf@grinm.com
• 网址：http://www.grinm.com.cn
• 卷：30
• 期：4
• 期刊索取号：P755.06 709-1
• 数据库收录：中文核心期刊；冶金工业类核心期刊；美国化学文摘（CA）源期刊；中国科技论文统计源期刊；中国科学引文数据库源期刊；中国物理学文献数据库原期刊
• 核心期刊：中文核心期刊；冶金工业类核心期刊

摘要

用X射线光电子能谱（XPS）对金属钽丝表面进行了分析和研究。通过XPS全程宽扫描和窄扫描，分析了钽丝表面的元素成分和钽的化学态。分析结果表明，钽丝表面的元素成分为Ta，C，O，F，S，Cl，P，Fe，Si，Ni，Cr，Ti，Nb，W，Al。对溅射5min前后的Ta4f峰进行曲线拟合，分别得到2个Ta峰和4个Ta峰，对拟合后各个Ta峰的相对位置进行分析，可以得出以上各个Ta峰的化学态；钽丝表面钽的化学态分别为，溅射前Ta₂O₅和Ta₅Si₃，溅射后Ta，Ta₂O₅，Ta₅Si₃。