二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成
- 出版年：2004
- 作者：黄昌清；隋曼龄
- 单位1：中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家联合实验室
- 语种：中文
- 作者关键词：金属材料；Cu-Ta非晶相；共溅射薄膜；高分辨透射电子显微术；不互溶体系
- 起始页：290
- 总页数：5
- 经费资助：国家自然科学基金50125103和59971057资助项目.
- 刊名：材料研究学报
- 是否内版：否
- 刊频：双月刊
- 创刊时间：1987
- 主办单位：国家自然科技基金委员会；中国材料研究学会
- 主编：叶恒强
- 地址：沈阳文化路72号
- 邮编：110016
- 电子信箱：cimr@imr.ac.cn
- 网址：http://www.cjmr.org
- 卷：18
- 期：3
- 期刊索取号：P822.066 627
- 数据库收录：美国《美国工程索引》(EI)；美国《化学文摘》(CA)；日本《科学技术文献速报》(CBST)
摘要
利用X射线衍射（XRD）、高分辨透射电子显微术（HRTEM）和X射线能谱（EDS）研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明，共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相，但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒，即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因.