VLSI微细加工技术
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  • 出版年：1995
  • 作者：崔铮
  • 学历：博士生
  • 职称：高级研究员
  • 语种：中文
  • 作者关键词：微细加工技术；光刻技术；电子束曝光；超大规模；集成电路工艺技术；聚焦离子束
  • 起始页：26
  • 总页数：6
  • 刊名：科学
  • 是否内版：否
  • 刊频：双月刊
  • 创刊时间：1915
  • 主编：周光召
  • 地址：上海瑞金二路450号
  • 邮编：200020
  • 卷：47
  • 期：3
  • 期刊索取号：P806 432-14
摘要

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