直流弧光放电等离子体CVD金刚石薄膜中的晶体类型与特征
- 出版年：2005
- 作者：张湘辉；汪灵；龙剑平；常嗣和；周九根
- 单位1：成都理工大学金刚石薄膜实验室
- 单位2：成都理工大学材料与化学化工学院
- 职称：工程师
- 语种：中文
- 作者关键词：金刚石；金刚石薄膜；直流弧光放电等离子体CVD；YG6硬质合金；晶体类型
- 起始页：100
- 总页数：5
- 经费资助：四川省教育厅自然科学重点科研项目（编号2003A142）；四川省重点科技攻关项目（05GG021-001）
- 刊名：矿物岩石
- 是否内版：否
- 刊频：季刊
- 创刊时间：1980
- 主管单位：四川省科学技术协会
- 主办单位：四川省矿物岩石地球化学学会；成都理工大学
- 主编：兰江华
- 地址：成都市二仙桥东三路1号，成都理工大学
- 电子信箱：Ljh@cdut.edu.cn
- 卷：25
- 期：3
- 期刊索取号：P310.6967-1
- 数据库收录：EI(Engineering Index)(光盘版)收录期刊
- 核心期刊：中国自然科学核心期刊；中文自然科学核心期刊
摘要
采用自主研制的直流弧光放电等离子体CVD设备，以甲烷和氢气为气源，在YG6硬质合金基体上制备出主显晶面为(100)、( 111)以及纳米晶粒的金刚石薄膜涂层。SEM观测其晶体类型主要为立方体、八面体、立方八面体，其中以立方八面体为主。随着碳源气体浓度的增加，金刚石晶体的形态会呈现从八面体-立方八面体-立方体顺序转变的趋势；而薄膜的表面形貌呈现从主显(111)晶面-(111)与(100)晶面混杂-主显(100)晶面顺序转变的特征。此外，CVD金刚石薄膜中还存在有许多类似接触孪晶、贯穿孪晶、复合孪晶，以及球形或聚晶晶粒形态的晶体，并且多数孪晶属于类似（111）复合孪晶结构。