湿法腐蚀制备蓝宝石图形衬底的研究
- 出版年：2010
- 作者：邵慧慧；李树强；曲爽；李毓锋；王成新；徐现刚
- 单位1：山东大学晶体材料国家重点实验室
- 单位2：山东华光光电子有限公司
- 出生年：1985
- 学历：硕士
- 语种：中文
- 作者关键词：湿法腐蚀；蓝宝石图形衬底；GaN；外延层
- 起始页：1443
- 总页数：3
- 经费资助：国家自然科学基金(No.50721002,50802053)资助项目；国家高技术研究发展计划(863)(2007AA03Z405)资助项目；教育部科技创新工程重大项目(No.707039)
- 刊名：人工晶体学报
- 是否内版：否
- 刊频：双月刊
- 创刊时间：1972
- 主管单位：中国建筑材料联合会
- 主办单位：中材人工晶体研究院
- 主编：沈德忠
- 电子信箱：jtxbbjb@126.com
- 网址：www.jtxb.cn
- 卷：39
- 期：6
- 期刊索取号：P311.06105
- 核心期刊：中文核心期刊；《EI》核心期刊
摘要
利用湿法腐蚀方法，制备出图形化蓝宝石衬底(Pss)。在相同的腐蚀时间下，研究腐蚀液温度对腐蚀蓝宝石表面形貌和外延后GaN材料的影响。扫描电镜(SEM)测试结果表明：随着腐蚀液温度的增加，图形的深度增加。腐蚀后图形阵列排布整齐，所有图形都方向一致，这与蓝宝石本身晶体性质有关。腐蚀液温度对外延后GaN的影响也比较大，随着腐蚀液温度的增加，(002)半峰宽逐渐增加，光致发光谱(PL)发光强度逐渐增加。管芯结果表明，LED管芯的光强也逐渐增加。